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INFICON氣體分析儀MPS100F

產(chǎn)品介紹

MPS系列可以通過監(jiān)控過程條件、檢測污染物和檢查泄漏來幫助您優(yōu)化過程。提供 100 amu 和 200 amu 兩種版本,能夠靈活地執(zhí)行各種功能,包括一般泄漏檢測、真空診斷和碳?xì)浠衔锓治觥?/p>

性能特點

  • 雙燈絲
  • 現(xiàn)場可更換電子倍增器
  • 可現(xiàn)場更換的陽極、陰極和排斥極燈絲組件
  • 可互換的傳感器和電子設(shè)備
  • TCP/IP 以太網(wǎng)連接
  • 較短的傳感器可max限度地減少安裝空間
  • max模擬掃描和選定峰值的每點數(shù)據(jù)速率為 3 ms
  • MDPP <1.5E-14 Torr
  • 傳感器在潔凈室環(huán)境中組裝、測試和雙重包裝

技術(shù)參數(shù)

  • 傳感器長度:14.3 厘米
  • 質(zhì)量范圍:100 amu
  • 探測器類型:FC
  • 靈敏度 (FC):3E-4 amps/Torr
  • 靈敏度 (EM):NA
  • min可檢測分壓 (3):2.6E-12 Torr
  • max傳感器工作溫度 (FC):200°C
  • max傳感器工作溫度 (EM):不適用
  • 燈絲類型選項:雙 Y2O3/Ir 燈絲
  • 分辨率 (1):<1 amu 寬
  • 溫度系數(shù) (2):<1%/°C
  • 每點max數(shù)據(jù)速率:3 ms
  • 零爆炸(@質(zhì)量 2):<100 ppm
  • max工作壓力:5E-4 Torr
  • max烘烤溫度:300 °C
  • 電源輸入:20-30 VDC

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