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MICROFLEX TECHNOLOGIES密封墊MSA-028-111

產(chǎn)品介紹

MicroSeal 系列是高純度、高完整性密封件的完整產(chǎn)品線,適用于工業(yè)和半導(dǎo)體應(yīng)用,包括低流量、高流量、高壓和低壓降。我們還提供孔口密封件和盲孔密封件,用于封閉備用端口。其他主要優(yōu)點(diǎn)包括高清潔度和無(wú)源、富鉻、低 Ra 表面光潔度。MicroSeals 可改裝為標(biāo)準(zhǔn)的 “C ”型密封系統(tǒng)。我們的密封件符合 SEMI 標(biāo)準(zhǔn) PR 3.1、3.5 和新的大流量標(biāo)準(zhǔn)。MicroSeal 的設(shè)計(jì)具有更柔軟、更順從的界面,可根據(jù)配合表面自行成型,確保泄漏密封性,并在不犧牲回彈特性的情況下減免泄漏。這是市場(chǎng)上具有高回彈性的高順應(yīng)性密封件。MicroSeals 的回彈率是同類密封件設(shè)計(jì)的十倍之多,而且對(duì)空腔公差的容忍度高。這確保了密封面在惡劣壓力、溫度和振動(dòng)條件下保持緊密接觸。微密封件組件,符合 SEMI PR3.1 標(biāo)準(zhǔn),用于質(zhì)量流量控制器,1-1/8" 表面貼裝

性能特點(diǎn)

優(yōu)化的內(nèi)徑,可在中流量、高流量、蒸汽和液體輸送系統(tǒng)中實(shí)現(xiàn)低壓降

低壓縮率,確保氣體/液體輸送系統(tǒng)的高可靠性

密封回彈力是傳統(tǒng)設(shè)計(jì)的 10 倍,可在沖擊和振動(dòng)條件下實(shí)現(xiàn)泄漏完整性

符合 SEMI PR 3.1 和 3.5 標(biāo)準(zhǔn)

高純度雙熔體 316 不銹鋼

潔凈被動(dòng)式富鉻表面

5 Ra 潤(rùn)濕表面處理

減免了高成本的返工和報(bào)廢現(xiàn)象

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)地:美國(guó)

材料:316L VIM VAR

鉻/鐵比率:鉻/鐵比率 > 2.0

氧化物厚度(減碳):氧化鉻厚度 > 20 埃

表面粗糙度:10 微英寸

缺陷:每個(gè)位置少于 25 個(gè)缺陷

設(shè)計(jì)壓力:5000 psig

外側(cè)泄漏:<1×10-9 atm·cc/s He

內(nèi)側(cè)泄漏:<7×10-11 atm·cc/sec He

內(nèi)側(cè)泄漏: 測(cè)試后 <1×10-9 atm·cc/sec He

內(nèi)板泄漏:扭矩設(shè)置的 80 % 和 120 % 時(shí),<1 ×10-9 atm·cc/s He

板泄漏: 經(jīng)過(guò) 20 次重做循環(huán)后,<1 ×10-9 atm·cc/s He

在 50、75 和 100 ft/lbs 下測(cè)試后,板泄漏:<1 ×10-9 atm·cc/s He

溫度循環(huán):室溫:100 ℃、室溫 -10 ℃;五個(gè)循環(huán)

溫度沖擊測(cè)試:200 至 -196 ℃

壓縮負(fù)載測(cè)試:0.062 英寸壓縮到 0.050 英寸

產(chǎn)品尺寸

產(chǎn)品應(yīng)用

工業(yè)、半導(dǎo)體


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