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MSG聚焦與跟蹤系統(tǒng)LAF5-CH

產(chǎn)品介紹

結(jié)合了工業(yè)顯微鏡和AOI系統(tǒng)的線激光和基于圖像的自動聚焦和跟蹤。MSG圖像自動聚焦作為一個跟蹤聚焦,而不像典型的對比度圖像聚焦。通過根據(jù)表面自動選擇聚焦方法,獲得更加穩(wěn)健的聚焦結(jié)果。

控制接口步進(jìn)/伺服電機(jī)。適用于放大2倍至100倍的校正透鏡,VIS、NIR、NUV、DUV。UI界面和軟件庫。

性能特點

我們的技術(shù)能夠自動聚焦于:

  • 具有高對比度變化的圖案表面
  • 具有高倍率透鏡的更小結(jié)構(gòu)
  • 折射率變化的材料,如夾層/分層基材

3種不同的操作模式。

  • 具有高速和高工作范圍的激光自動聚焦模式
  • 圖像自動對焦模式可提高精度

混合自動聚焦模式,可智能選擇激光或圖像聚焦,以優(yōu)化速度和精度,幾乎消除激光壞點問題,同時仍能準(zhǔn)確跟蹤

 

該系統(tǒng)具有完整的Z軸閉環(huán)系統(tǒng),帶有傳感器和電機(jī)控制。它帶有一個軟件界面,便于設(shè)置、使用和診斷所有必要的傳感器和電機(jī)參數(shù)。易于集成到現(xiàn)有軟件架構(gòu)中。

技術(shù)參數(shù)

 

參考APO計劃無限顯微鏡物鏡(示例)

放大倍數(shù)

5x

10x

20x

50x

100x

DOF

14µm

3.5µm

1.6µm

0.9µm

0.6µm

采樣率激光器

max.5kHz

采樣率視頻

250幀/秒,MAX,連續(xù)

工作范圍激光

±12000µm

±4000µm

±1500µm

±500µm

±150µm

工作范圍視頻

±5000µm

±1000µm

±400µm

±100µm

±20µm

精度*

激光模式:0.5鏡頭自由度,視頻0.25鏡頭自由度

激光

二極管激光器660nm,IIIR類<2mW,前置透鏡

工作溫度

+5°C至+50°C

光束形狀

45°傾斜激光線

傳感器+電纜重量

 

 

400g

 

 

接口重量

 

 

400g

 

 

推薦BS

 

 

50/50

 

 

激光AF周期時間

 

 

0.1s

 

自動跟蹤

圖像AF周期時間

 

 

0.4s

 

自動跟蹤

混合AF循環(huán)時間

 

0.2s

 

自動跟蹤

電源

In

僅+12V DC傳感器,24-48V,帶控制器LAF-C

可選距離輸出

模擬

0-10V和-10+10V,通過RS232

信號質(zhì)量輸出

模擬

0-10V,通過RS232

通信

數(shù)字

RS232

 

 

 

激光器開/關(guān)

In

TTL

&通過RS232

 

照相機(jī)同步

In

TTL

 

 

 

*所有數(shù)據(jù)均指激光用普通玻璃的測量值和視頻用標(biāo)準(zhǔn)圖案

 

 


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