无码国产精品一区二区免费模式_久久九九精品国产综合喷水_无码人妻久久一区二区三区蜜桃_免费无码无遮挡裸体视频在线观看,中文字幕在线免费看线人,中文无码熟妇人妻AV在线,李时珍电影在线观看完整版中文,维修工人的绝遇中文字,大地资源中文第3页,中文字幕一区二区三区乱码,巜被社长侵犯的人2中文在线,亚瑟 中文字幕 ,熟妇人妻中文字幕无码老熟妇 ,国产成人久久久精品二区三区_精品午夜福利在线视在亚洲_亚洲伊人成无码综合网_亚洲Aⅴ无码一区二区二三区软件_囯产极品美女高潮无套久久久 ,欲色aV无码一区二区人妻_91麻豆精品久久毛片一级_亚洲永久无码精品放毛片_国产精品va无码一区二区臀,久久精品诱惑视频_亚洲AV不卡每天更新_婷婷在线无码精品_欧洲无码一区二区

400-888-1375
當前所在位置:首頁>產(chǎn)品中心 >熱處理爐設備 >ANNEALSYS快速熱化學氣相沉積系統(tǒng)MC-050

ANNEALSYS快速熱化學氣相沉積系統(tǒng)MC-050

產(chǎn)品介紹

帶燈加熱的直接液體噴射汽化器使 MC-050成為一種獨特的機器,具有像集群工具一樣的多工藝能力,但在一個單一的工藝室內(nèi)。

Annealsys MC-050系統(tǒng)是為滿足研發(fā)單位的要求而開發(fā)的2英寸DLI-CVD/DLI-ALD反應器。

紅外燈爐與直接液體注入蒸發(fā)器相結(jié)合,在同一工藝室內(nèi)提供獨特的多工藝能力:CVD、ALD、MOCVD、RTP 和 RTCVD。

直接液體注入 (DLI) 蒸發(fā)器可控制前體流量,并允許使用低蒸氣壓和稀釋的化學前體。與旁通閥相關的前體蒸汽流的快速切換為納米層壓板的沉積提供了界面控制。

MC-050是使用廣泛的固體和液體有機金屬前體開發(fā)新材料和納米層壓材料的機器。

性能特點

MC-050 可以使用廣泛的有機金屬前體進行化學氣相沉積和原子層沉積工藝,同時提供原位退火功能。

  • 氣體混合能力與質(zhì)量流量控制器
  • 6個汽化器
  • 手套箱裝載選項
  • 可選擇高真空能力

可選功能與配件

MC-050可配備6個直接液體注入蒸發(fā)器和兩個用于高蒸氣壓前體的起泡器。

  • 高溫計溫度控制
  • 粗真空泵、渦輪泵
  • 手套箱接口和手套箱
  • 遠程等離子
  • 臭氧發(fā)生器

技術參數(shù)

  • 基板尺寸:直徑可達2英寸
  • 溫度范圍:室溫至 1100°C
  • 電壓:3x400V+N+Gr/3x220V+Gr
  • 功率:21千瓦
  • 水:2至4巴,壓降1巴,8升/分鐘
  • 壓縮空氣:6巴(閥門驅(qū)動)
  • 真空范圍:大氣壓至 10-3 Torr
  • 產(chǎn)地:法國

產(chǎn)品應用

MC-050提供了廣泛的新材料開發(fā)能力,包括單金屬氧化物和多金屬氧化物以及過渡金屬●二硫化物 (TMD) 和其他二維材料。

  • 簡單和多金屬氧化物
  • 金屬、氮化物和合金
  • III-V,寬帶隙半導體
  • 二維材料:石墨烯、氮化硼、MoS2、WS2、MoSe2、WSe2 ...
  • ETC

產(chǎn)品中心
客戶中心
合作平臺
關于賽力斯
聯(lián)系我們
賽力斯服務熱線
400-888-1375
公司郵箱
sales@celiss.com
加企業(yè)微信咨詢
梨树县| 青阳县| 泊头市| 清流县| 瑞丽市| 青海省| 鄂伦春自治旗| 临沭县| 沅陵县| 安国市| 陆丰市| 正镶白旗| 永济市| 灵寿县| 舒城县| 博兴县| 老河口市| 西和县| 嘉义市| 蕲春县| 三原县| 昌宁县| 通道| 黄平县| 安阳市| 潜山县| 故城县| 剑川县| 永康市| 平远县| 闽清县| 精河县| 崇仁县| 镇雄县| 霍林郭勒市| 治县。| 崇文区| 沅陵县| 石首市| 连州市| 剑阁县|