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SAES PURE GAS氧氣凈化器PS6-MGT15-O

產(chǎn)品介紹

這些PS6催化劑和吸附器本體氣體凈化器以高可靠性、低成本和高性能有效地去除了大量雜質(zhì)。

性能特點(diǎn)

  • 使用專門(mén)設(shè)計(jì)的雙催化和吸附工藝,為半導(dǎo)體應(yīng)用提供高純度氣體
  • 碳?xì)浠衔铮–H4)、一氧化碳(CO)和氫氣(H2)在高溫下與氧化催化劑容器中的氧氣(O2)反應(yīng),形成二氧化碳(CO2)和水(H2O),然后在環(huán)境溫度吸附器容器中去除。
  • 兩個(gè)吸附器容器在凈化和再生模式之間交替,提供連續(xù)凈化
  • 吸附劑再生是通過(guò)在高溫下反沖洗純化的O2來(lái)實(shí)現(xiàn)的
  • 優(yōu)化設(shè)計(jì)在流量高達(dá)16667 slpm(1000 Nm3/hr)的小占地面積內(nèi)提供亞ppb性能

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)地:美國(guó)

工藝:雙催化和吸附

氣體凈化:O2

雜質(zhì)去除至<1ppb:H2O、CO、CO2、H2、CH4

流量max.:15 Nm3/hr

壓降max.:<0.7 bar (70 kPa)

吸附器容器數(shù)量:2

高度H:193 cm

寬度W:89 cm

深度D:84 cm

重量:<600 kg

產(chǎn)品應(yīng)用

半導(dǎo)體

數(shù)據(jù)存儲(chǔ)

平板顯示器

發(fā)光二極管

太陽(yáng)能


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