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CDE四點探針電阻儀ResMap 178

產(chǎn)品介紹

ResMap Model 178已成為成本效益電阻率測量的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。該四點探針旨在滿足工藝開發(fā)和工具表征工程師的需求,具有所需的準(zhǔn)確性、可重復(fù)性和可靠性。其龐大的安裝基礎(chǔ)證明了其性能、易用性和低擁有成本。

CDE的成立旨在為半導(dǎo)體及相關(guān)行業(yè)開發(fā)和制造高性能、高性價比的晶圓計量工具。CDE ResMap是一系列適用于各種應(yīng)用的自動電阻率測繪系統(tǒng)。4點探針測量工具是一種儀器,用于測量導(dǎo)電介質(zhì)(通常是半導(dǎo)體應(yīng)用的薄膜)中的薄層電阻(或Rs)。

性能特點

  • 準(zhǔn)確性
  • 可重復(fù)性
  • 可靠性

技術(shù)參數(shù)

  • 晶片處理:手動裝載
  • 晶圓尺寸:2英寸至8英寸
  • 尺寸:12英寸x 19英寸x 10英寸
  • 典型測量時間:每個站點1秒
  • max吞吐量:每片晶圓1分鐘(49個站點)
  • 測量范圍:2米?/-5米?/(可以優(yōu)化到1米?/)
  • 重復(fù)性(1σ,典型):≤±0.02%(靜態(tài)或Rs-pack);≤±0.1%(動態(tài)近點)
  • 精度:使用NIST traceableResCal標(biāo)準(zhǔn)≤±0.5%
  • min邊緣排除:1.5mm(探頭中心到薄膜邊緣)
  • 交流電源:100V至240V<10 KVA
  • 產(chǎn)地:美國

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