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400-888-1375

SENS4隔膜真空計VDM-2

產(chǎn)品介紹

VDM-2 陶瓷膜片真空傳感器采用耐腐蝕的氧化鋁膜片,膜片可隨施加的壓力而彎曲。核心壓力傳感器元件采用壓電電阻測量法。膜片傳感器測量的真空氣體壓力不受氣體類型或成分的影響。與通常使用充油傳感器元件的不銹鋼壓電真空傳感器相比,陶瓷壓電傳感器元件清潔干燥,減免了污染真空系統(tǒng)的風(fēng)險。電容式隔膜真空計在許多真空應(yīng)用中用于測量和控制的過程。VDM-2 傳感器是傳統(tǒng) 1000 托/mbar 全量程電容式隔膜真空計 (CDG) 的替代產(chǎn)品,性價比高且結(jié)構(gòu)緊湊。VDM-2 可用于可能存在腐蝕性氣體和化學(xué)物質(zhì)的苛刻真空應(yīng)用中。陶瓷氧化鋁膜片具有良好的耐腐蝕性,可抵御多種溶劑和酸性物質(zhì)。VDM-2 傳感器還可選配 Parylene 保護層,以防止傳感器材料受到腐蝕或氧化。Parylene 是一種獨特的聚合物,具有很強的耐腐蝕性和疏水性,專門設(shè)計用于凍干和過氧化氫等離子滅菌等應(yīng)用。

性能特點

測量范圍從 1.0E-1 到 1333 mbar,共 4 個量程

經(jīng)濟實惠,可替代傳統(tǒng)的 1000 托全量程 CDG

整個壓力范圍內(nèi)的測量與氣體無關(guān)

耐腐蝕陶瓷或聚對二甲苯膜片

0-10 VDC 可編程電壓輸出

數(shù)字 RS-232 或 RS-485 接口

用于外部控制的可選固態(tài)設(shè)定點繼電器

可直接替換其他供應(yīng)商的真空計

選型指南

產(chǎn)品結(jié)構(gòu)與細節(jié)

15 引腳 HD D-sub RS-232 / RS-485

引腳說明

1 RS-232 發(fā)送 / RS-485 (-)

2 RS-232 接收 / RS-485 (+)

3 電源電壓 12-30 VDC

4 電源電壓 -(返回)

5 模擬電壓信號 +

6 模擬電壓信號 - (返回)

7 繼電器 1 常開觸點

8 繼電器 1 公共端

9 繼電器 1 NC(常閉觸點)

10 繼電器 2 NC(常閉觸點)

11 繼電器 2 共用

12 繼電器 2 常開(常開觸點)

13 繼電器 3 常開(常開觸點)或模擬輸出 2

14 繼電器 3 共用

15 繼電器 3 常開(常開觸點)

可選功能與配件

  • RS-232 / RS-485 至 USB 轉(zhuǎn)換器,帶墻插電源

PRG-WPRS2-15DS-01 RS-232 至 USB,15 針 HD D-sub,電源(90 至 230 VAC)

PRG-WPRS4-15DS-01 RS-485 轉(zhuǎn) USB,15 針 HD D-sub,電源(90 至 230 VAC)

PRG-WPRS2-9DS-01 RS-232 轉(zhuǎn) USB,9 針 D 型超微,電源(90 至 230 VAC)

PRG-WPRS4-9DS-01 RS-485 通訊器 USB,9 針 D-sub 接口,電源(90 至 230 VAC)

  • TrueVac 手持顯示屏

TVC-1-01 TrueVac 顯示單元

CBL-TVC1-9DS-02 電纜 TVC-1 至 9 針 D-sub, 2 米

CBL-TVC1-9DS-03 電纜 TVC-1 至 9 針 D-sub, 3 米

CBL-TVC1-15HDS-02 電纜 TVC-1 至 15 HD 針 D-sub,2 米

CBL-TVC1-15HDS-03 電纜 TVC-1 至 15 HD 針 D-sub,3 米

CBL-TVC1-RJ45-02 電纜 TVC-1 至 RJ45,2 米

CBL-TVC1-RJ45-03 電纜 TVC-1 至 RJ45,3 米

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)地:丹麥

測量范圍:0.1 至 1333 mbar(0.1 至 1000 托)

測量原理:陶瓷膜片壓電電阻式

精度 100 至 1333 mbar:讀數(shù)的 0.5 %

精度 1 至 99.9 mbar:滿刻度的 0.05 % (1333 mbar)

磁滯 1×10-1 至 10 mbar (ISO19685:2017):讀數(shù)的 1 %

磁滯 10 至 1200 mbar(ISO19685:2017):讀數(shù)的 0.1 %

模擬輸出分辨率:16 位 (150 µV)

模擬輸出更新率:560 Hz

響應(yīng)時間(ISO 19685:2017):< 20 ms

溫度補償:+10 至 +50 ℃

固態(tài)繼電器設(shè)定點范圍:1 至 1333 mbar(0.75 至 1000 托)

固態(tài)繼電器觸點額定值:50 V、100 mArms / mADC

固態(tài)繼電器觸點耐久性:無限制(無機械磨損)

固態(tài)繼電器認證:UL 認證: 文件 E76270;CSA 認證: 證書 1175739;EN/IEC 60950-1 認證

工作環(huán)境溫度:-20 至 +50 ℃

介質(zhì)溫度:-20 至 +50 ℃

儲存環(huán)境溫度:-40 至 +80 ℃

烘烤溫度(非工作):+80 ℃

Max介質(zhì)壓力:2 巴壓力Abs(29 psia)

爆破壓力:壓力Abs 4 巴(58 psia)

安裝位置:任意

防護等級,EN 60529/A2:2013:IP40

濕度,IEC 68-2-38:98 %,無冷凝

電源電壓:12 至 30 VDC

功耗:240 mW(Max值)

反限性保護:是

過壓保護:是

內(nèi)部保險絲:100 mA(熱敏;可恢復(fù))

外殼:SS 1.4307 / AISI 304L / 鋁 6061

真空處理法蘭(介質(zhì)浸濕):不銹鋼 1.4401 / AISI 316

真空暴露材料(與介質(zhì)接觸) 標(biāo)準(zhǔn)型:316 不銹鋼、氟橡膠、氧化鋁 (AI2O3 96%)

真空暴露材料(與介質(zhì)接觸) 聚對二甲苯保護型:316 不銹鋼、氟橡膠、聚對二甲苯

工藝泄漏密封性:<1-10-9 mbar-l/s

CE:EMC 指令 2014/30/EU

符合 RoHS 指令:歐盟指令 2015/863

產(chǎn)品尺寸

產(chǎn)品應(yīng)用

半導(dǎo)體加工、PVD 涂層、CVD 加工、器械滅菌、短程蒸餾、真空爐、冷凍干燥


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