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MICROFLEX TECHNOLOGIES高流量密封系統(tǒng)MS-043-062

產(chǎn)品介紹

MicroSeal 系列是高純度、高完整性密封件的完整產(chǎn)品線,適用于工業(yè)和半導(dǎo)體應(yīng)用,包括低流量、高流量、高壓和低壓降。我們還提供孔口密封件和盲孔密封件,用于封閉備用端口。其他主要優(yōu)點(diǎn)包括高清潔度和無源、富鉻、低 Ra 表面光潔度。MicroSeals 可改裝為標(biāo)準(zhǔn)的 “C ”型密封系統(tǒng)。我們的密封件符合 SEMI 標(biāo)準(zhǔn) PR 3.1、3.5 和新的大流量標(biāo)準(zhǔn)。MicroSeal 的設(shè)計具有更柔軟、更順從的界面,可根據(jù)配合表面自行成型,確保泄漏密封性,并在不犧牲回彈特性的情況下減免泄漏。這是市場上具有高回彈性的高順應(yīng)性密封件。MicroSeals 的回彈率是同類密封件設(shè)計的十倍之多,而且對空腔公差的容忍度高。這確保了密封面在惡劣壓力、溫度和振動條件下保持緊密接觸。用于大流量的 MicroSeal 為密封端口反孔 0.44 英寸直徑 x 0.024 英寸深度、0.30 英寸直徑流道而設(shè)計

性能特點(diǎn)

優(yōu)化的內(nèi)徑,可在中流量、高流量、蒸汽和液體輸送系統(tǒng)中實現(xiàn)低壓降

低壓縮率,確保氣體/液體輸送系統(tǒng)的高可靠性

密封回彈力是傳統(tǒng)設(shè)計的 10 倍,可在沖擊和振動條件下實現(xiàn)泄漏完整性

符合 SEMI PR 3.1 和 3.5 標(biāo)準(zhǔn)

高純度雙熔體 316 不銹鋼

潔凈被動式富鉻表面

5 Ra 潤濕表面處理

減免了高成本的返工和報廢現(xiàn)象

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)地:美國

材料:>0.004 % 硫含量

鉻/鐵比率:鉻/鐵比率 2.5

氧化物厚度(減碳):CrO 厚度(減碳)35 角

表面粗糙度:< 1 微英寸

缺陷:每個位置少于 1 個缺陷

泄漏測試,設(shè)計壓力:5000 psig

外側(cè)泄漏:<7 x 10-11 atm·cc/sec He,100 psig,暴露于 5000 psig 后

壓力測試7500 psig 時的防爆:看不到流體靜壓測試液

防漏部件密封性:<7 x 10-11

爆裂測試(靜水壓):在 > 20,000 psig 壓力下爆裂

振動-MIILSPEC 810E Sec 1 類別 1:內(nèi)側(cè)泄漏: 經(jīng)過 MIL-SPEC810E Sec 1-3 類別 1 測試后,<7 x 10-11 atm·cc/sec He

沖擊 - 以 25G 為增量進(jìn)行跌落測試:沖擊超過 >294 G - 無泄漏

內(nèi)側(cè)泄漏:<7 x 10-11 atm·cc/sec He

扭矩:10、15、24、30、36 和 48 英寸/磅

可重復(fù)性:使用 20 套新密封件制作和重新制作基體

通過內(nèi)側(cè)泄漏:<7 x 10-11 atm·cc/sec He,在每次制作和重新制作以及 20 次重新制作循環(huán)之后以 10、24 和 48 英寸/磅扭矩進(jìn)行測試

扭矩測試后,內(nèi)側(cè)泄漏:< 5 x 10-11 atm·cc/sec He

溫度循環(huán)

板內(nèi)泄漏:在每個溫度下通過泄漏測試 <7x 10-11 atm·cc/sec He

溫度沖擊測試:+200 至 -196 ℃(直接插入液態(tài) N2 中)

在 <7 x10-11 atm·cc/sec He 條件下無泄漏

標(biāo)準(zhǔn)密封:685 磅

產(chǎn)品應(yīng)用

工業(yè)、半導(dǎo)體、適用于密封端口反孔 0.44 英寸直徑 x 0.024 英寸深度、0.30 英寸直徑流道


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