LM 系列激光干涉測量探頭是長度測量設(shè)備。使用這些探頭，可以在 20 或 50 毫米的測量范圍內(nèi)以納米精度進行觸覺測量。 由于其尺寸和 Ø 8h6 的夾持柄直徑，測量探頭與傳統(tǒng)測量系統(tǒng)兼容。集成的激光干涉儀將電機驅(qū)動的測量套筒的測量運動轉(zhuǎn)換為干涉信號。該光學(xué)測量信號通過光纜傳輸?shù)焦怆姽╇姾驮u估單元，并作為長度值輸出。穩(wěn)定的 He-Ne 激光器（其光通過光纖饋送到激光干涉儀）以及對環(huán)境對激光波長的影響的校正是高測量精度的基礎(chǔ)。操作和顯示通過單獨的顯示器或通過帶有軟件的 PC 進行。

通過激光干涉測量方法獲得高精度和準確度

高頻穩(wěn)定性氦氖激光器作為材料測量

在整個測量范圍內(nèi)恒定的測量力

在整個測量范圍內(nèi)具有良好的線性度

探頭的光纖耦合

抗電磁場