Nano Vibration Analyzer 是一種集成在技術(shù)顯微鏡中的光纖耦合激光干涉式測(cè)振儀。它是測(cè)量微結(jié)構(gòu)、MEMS 和懸臂梁的動(dòng)態(tài)行為和靜態(tài)變形的理想選擇。測(cè)量對(duì)象可以使用 X-Y 表在大范圍內(nèi)定位和掃描，并且可以使用 USB 攝像頭進(jìn)行觀察。顯微鏡鏡頭是可互換的。激光干涉式測(cè)振儀可實(shí)現(xiàn)的路徑分辨率在亞納米范圍內(nèi)為 5 pm，從而可以分析高達(dá) 5 MHz 的振動(dòng)頻率。專門開發(fā)的軟件可用于記錄和顯示測(cè)量數(shù)據(jù)。除了振動(dòng)的頻率分析和測(cè)量值的觸發(fā)記錄之外，這還可以控制 X-Y 表和外部頻率發(fā)生器。更廣泛的測(cè)量序列可以使用腳本自動(dòng)化。

高精度、非接觸式振動(dòng)測(cè)量和微小物體靜態(tài)撓度測(cè)量

直接測(cè)量位移

靈活的樣品定位

各種可更換鏡頭（10x、50x）

用于監(jiān)控測(cè)量對(duì)象的 USB 攝像頭

應(yīng)用程序特定配置

用于光譜分析的 FFT 軟件

Windows 和 Linux 下 OEM 軟件的開放接口

顯微鏡頭也可作為 OEM 模塊單獨(dú)提供