59.0 UHV 全金屬可變泄漏閥允許準(zhǔn)確控制非常小的氣體流量（1·10-10 mbar ls）。 憑借其全金屬設(shè)計(jì)，它非常適合 UHV 和UHV 工藝中的氣體計(jì)量要求。

59.0 的特殊控制功能保證了可重復(fù)的準(zhǔn)確氣體流量設(shè)置，增強(qiáng)了過(guò)程控制能力。它還在整個(gè)生命周期內(nèi)提供可靠、無(wú)泄漏的關(guān)閉，沒(méi)有任何密封疲勞的風(fēng)險(xiǎn)。

全金屬設(shè)計(jì)——不銹鋼閥體和鍍金不銹鋼薄膜閘門(mén)密封——使 59.0 還具有對(duì)腐蝕性和腐蝕性氣體的高耐受性。

59.0 已經(jīng)安裝在各種工藝條件下的數(shù)千種苛刻應(yīng)用中，證明了其可靠性。它已成為 UHV 和 XHV 應(yīng)用中可變泄漏閥的標(biāo)準(zhǔn)解決方案。

• 用于氣流的高精度氣體計(jì)量
• 準(zhǔn)確重現(xiàn)的氣體流量設(shè)置
• 可靠的終生防漏密封
• 耐腐蝕性和腐蝕性氣體
• 氣體流量下的壓力控制
• 增強(qiáng)的過(guò)程可控性
• 正常運(yùn)行時(shí)間長(zhǎng)