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ENTEGRIS快速排氣擴(kuò)散器Chambergard BGN

產(chǎn)品介紹

Chambergard BGN 擴(kuò)散器使用燒結(jié)鎳過濾器元件快速擴(kuò)散進(jìn)入的氣流,使負(fù)載鎖定和/或傳輸室以更高的速度填充,而不會(huì)產(chǎn)生顆粒干擾或過度湍流。 BGN 擴(kuò)散器的高保持性鎳元素可去除進(jìn)入氣體中的亞微米顆粒污染物并迅速排放到大氣中,從而減少晶圓缺陷并縮短循環(huán)時(shí)間。 BGN 擴(kuò)散器旨在滿足平板顯示器和 300 毫米工具客戶的需求,以提升效率、縮短腔室排氣時(shí)間并提高產(chǎn)量。 憑借我們的全球基礎(chǔ)設(shè)施,我們可以提供 Chambergard BGN 快速通風(fēng)擴(kuò)散器,以滿足您在全球范圍內(nèi)的需求。

性能特點(diǎn)

燒結(jié)鎳技術(shù)可在所有應(yīng)用中提供良好的性能

設(shè)計(jì)能夠從進(jìn)入的氣體中去除大于 0.0015 µm 的顆粒,從而大限度地減少晶圓缺陷

易于安裝/改裝到現(xiàn)有工具中,大限度地減少停機(jī)時(shí)間

技術(shù)參數(shù)


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