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ONTO光刻系統(tǒng)JetStep G35

  • 品  牌:ONTO
  • 型  號:JetStep G35
  • 技術(shù)資料:
  • 閱讀次數(shù):1102

產(chǎn)品介紹

JetStep G35 系統(tǒng)專為靈動(dòng)性而設(shè)計(jì),利用一系列高性能投影鏡頭為平板顯示器制造商實(shí)現(xiàn)高分辨率成像。Jetstep G35 系統(tǒng)是一款大批量制造成像系統(tǒng),適用于高達(dá) 3.5 代的顯示器。JetStep G35 系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)低至 1.5µm 的高分辨率成像,并結(jié)合先進(jìn)的高分辨率顯示器制造所需的配準(zhǔn)和拼接精度。適用于高達(dá)Gen 3.5尺寸的平板顯示器應(yīng)用的高分辨率成像。

性能特點(diǎn)

  • 自動(dòng)放大控制增加了工藝窗口
  • 板載標(biāo)線管理系統(tǒng)提供大利用率
  • 用于現(xiàn)場校準(zhǔn)的機(jī)載計(jì)量包
  • 在每個(gè)曝光位置進(jìn)行動(dòng)態(tài)自動(dòng)對焦,以自動(dòng)調(diào)整面板拓?fù)渖系慕裹c(diǎn)
  • 提供系統(tǒng)性能和故障排除反饋的板載診斷

技術(shù)參數(shù)

  • 行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的 6 英寸光罩格式,用于經(jīng)濟(jì)的制造
  • 低至 1.5µm 的高分辨率成像

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