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ONTO檢測(cè)系統(tǒng)NSX 330

  • 品  牌:ONTO
  • 型  號(hào):NSX 330
  • 技術(shù)資料:
  • 閱讀次數(shù):2179

產(chǎn)品介紹

NSX 330 系列通過在單個(gè)平臺(tái)中支持多個(gè)應(yīng)用程序直接提高擁有成本,從而支持封裝流程。NSX 330 系統(tǒng)結(jié)合了檢測(cè)和計(jì)量,可測(cè)量多種應(yīng)用,包括在單個(gè)晶圓負(fù)載中對(duì)微凸塊、RDL、切口、覆蓋層和硅通孔 (TSV) 進(jìn)行晶圓級(jí)計(jì)量。NSX 330 系統(tǒng)提供強(qiáng)大的平臺(tái)技術(shù),包括:高加速分級(jí)、高速多處理器計(jì)算和高度靈活的軟件,具有可用性水平。NSX 330 系統(tǒng)在全球安裝了超過 1,000 臺(tái) NSX 系統(tǒng),提供更高的 2D 檢測(cè)和計(jì)量吞吐量以及支持關(guān)鍵先進(jìn)封裝應(yīng)用的廣泛 3D 傳感器產(chǎn)品組合。

性能特點(diǎn)

  • 可選擇具有硬質(zhì)陽極氧化處理的檢測(cè)平臺(tái),可容納 100 毫米至 330 毫米的整個(gè)晶圓
  • 可編程燈塔
  • 可編程照明濾光輪
  • 多種暗場(chǎng)照明模式
  • 標(biāo)準(zhǔn)對(duì)接模塊

技術(shù)參數(shù)

  • 分辨率靈活性(10µm 至 0.5µm)
  • 獨(dú)特的處理解決方案(Mems、Taiko、Thin)、極端翹曲(>12mm)和超?。?lt;50µm)
  • 物鏡轉(zhuǎn)塔為需要高通量和高分辨率的檢測(cè)應(yīng)用提供了靈活性。轉(zhuǎn)塔組件有五 (5) 個(gè)可用插槽,可安裝 1X、2X、3X、5X、10X、20X 和 50x 物鏡的任意組合。

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