Ichor Systems 生產全系列常規(guī)、模塊化隔膜閥、模塊化計量閥和止回閥，其性能和純度均達到或超過所有行業(yè)標準。我們的常規(guī)隔膜閥 (CDV) 系列可為常規(guī)安裝系統(tǒng)提供高可靠性和價值，而我們的模塊化隔膜閥 (MDV) 系列則專為模塊化表面安裝系統(tǒng)而設計。我們所有閥門的設計均符合 SEMI 規(guī)范，具有良好的可靠性和性能，并與市場上所有競爭系統(tǒng)兼容?？蛻繇毚_保所選部件是符合其防護性能的適當部件，同時考慮到氣體/流體輸送系統(tǒng)的材料兼容性、操作條件、正確安裝等因素。

模塊化計量閥

1.500" W 密封

3 端口，大流量

316L，高純度

純度

材料

流速

端口數(shù)

密封類型

底座尺寸

產地：美國

工作壓力：真空至 200 psig

Max流量系數(shù)：0.13 cv

流量：大流量

孔徑：0.090 英寸

工作溫度：-20 至 200 ℃（13 至 392 ℉）

底座尺寸：1.500 英寸

密封類型：W 型密封

端口數(shù)：3 端口

主體材料：316L

純度等級：高純度

膜片材料：elgiloy

潤濕表面處理：10 Ra

清洗：超聲波清洗和電拋光

驅動類型：手動旋轉

爆破壓力：3000 psig

流體輸送、半導體、制造業(yè)、集成解決方案