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ICHOR隔膜閥MDV-18-1-2-01-F-A-H

產(chǎn)品介紹

Ichor Systems 生產(chǎn)全系列常規(guī)、模塊化隔膜閥、模塊化計量閥和止回閥,其性能和純度均達到或超過所有行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。我們的常規(guī)隔膜閥 (CDV) 系列可為常規(guī)安裝系統(tǒng)提供高可靠性和價值,而我們的模塊化隔膜閥 (MDV) 系列則專為模塊化表面安裝系統(tǒng)而設(shè)計。我們所有閥門的設(shè)計均符合 SEMI 規(guī)范,具有良好的可靠性和性能,并與市場上所有競爭系統(tǒng)兼容??蛻繇毚_保所選部件是符合其防護性能的適當(dāng)部件,同時考慮到氣體/流體輸送系統(tǒng)的材料兼容性、操作條件、正確安裝等因素。

性能特點

模塊化隔膜閥

1.125" C 型密封, 2 端口

手動操作

PFA / ASTM D3307

類型 II, 316L, 高純度

選型指南

純度

材料

底座材料

傳動類型

端口數(shù)

密封類型

底座尺寸

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)地:美國

工作壓力:真空至 150 psig

工作溫度:-10 至 150 ℃ (15 至 300 ℉)

底座尺寸:1.125 英寸

密封類型:C 形密封

端口數(shù):2 個端口

主體材料:316L

純度等級:高純度

閥座材料:PFA/ASTM D3307, Type II

執(zhí)行機構(gòu)特性:1/4 轉(zhuǎn)

膜片材料:elgiloy

流量系數(shù):0.3 cv

潤濕表面光潔度:10 ra

清洗:超聲波清洗和電拋光

驅(qū)動類型:手動操作

爆破壓力:4500 psig

執(zhí)行壓力:65 至 125 psig

產(chǎn)品尺寸

產(chǎn)品應(yīng)用

流體輸送、半導(dǎo)體、制造業(yè)、集成解決方案


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