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400-888-1375

WASCO開關(guān)UHP169-31W3B/3408

產(chǎn)品介紹

UHP160 系列除采用全焊接結(jié)構(gòu)外,還采用了全不銹鋼傳感器。UHP160 系列采用 Wasco 專有的制造方法,去除了所有泄漏途徑。該系列是處理腐蝕性介質(zhì)的理適配選擇,精度高,公差小。我們?yōu)楦呒兌葢?yīng)用(如半導(dǎo)體設(shè)備)設(shè)計了這些開關(guān)。UHP160 系列不含任何彈性體或 O 形圈。根據(jù) SEMI F1 標(biāo)準(zhǔn),所有開關(guān)的氦氣泄漏測試均達(dá)到 ≤ 1 x 10-9 std cc/sec。UHP160 系列在 100 級潔凈室中制造和包裝。

性能特點

全焊接結(jié)構(gòu)

不銹鋼傳感器

處理腐蝕性介質(zhì)

精度高,公差小

氦氣泄漏測試達(dá)到 ≤ 1 x 10-9 std cc/sec

100 級潔凈室中制造和包裝

選型指南

WASCOINC UHP169-31L2B-X/1767

WASCOINC UHP169-31W3A/1657

WASCOINC UHP169-31WV2B-X/9963

WASCOINC UHP169-31L2B-X/1601

WASCOINC UHP169-31W3B/3408

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)地:美國

傳感器:3

Max系統(tǒng)壓力:30.0 inHg

設(shè)定點范圍:1.6 至 29.5 inHg

設(shè)定點公差:± 1.2 inHg

復(fù)位帶:1.0 至 4.6 inHg

接頭材質(zhì):316 L SS

膜片材質(zhì):17-7PH SS 和 316 L SS

使用周期:≥ 1,000,000 次

入口防護(hù)等級:IP 67

泄漏率:氦氣泄漏測試 ≤ 1 x 10-9 std cc/sec

工作溫度:-65 至 225 ℉;-54 至 107 ℃

產(chǎn)品尺寸

產(chǎn)品應(yīng)用

氣箱、臭氧系統(tǒng)、氣體分配系統(tǒng)、半導(dǎo)體設(shè)備


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