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SEMILAB激光橢偏儀LE-103PV

  • 品  牌:SEMILAB
  • 型  號(hào):LE-103PV
  • 技術(shù)資料:
  • 閱讀次數(shù):1520

產(chǎn)品介紹

用于硅太陽(yáng)能電池的激光橢偏儀 緊湊型創(chuàng)新設(shè)備,旨在測(cè)量沉積在紋理硅(單硅和多硅)襯底上的抗反射涂層的厚度和光學(xué)常數(shù)??梢暂p松實(shí)現(xiàn)優(yōu)化的入射角(12-90°),以獲得沉積在多晶結(jié)構(gòu)晶圓上的薄膜的大信號(hào)。金字塔結(jié)構(gòu)可以定向以獲得正確的測(cè)量值,同時(shí)將樣品牢固地保持在適當(dāng)?shù)奈恢谩?/p>

性能特點(diǎn)

  • 確定減反射涂層的薄膜厚度和光學(xué)常數(shù)(折射率和消光系數(shù))
  • 用于穩(wěn)定性和自動(dòng)校準(zhǔn)的集成光學(xué)元件
  • 微點(diǎn)聚焦光學(xué)元件,用于良好信號(hào)收集。
  • 特別改裝的樣品架,適用于 156×156 mm 的樣品池尺寸。
  • 在線集成,實(shí)現(xiàn)快速過(guò)程控制。
  • 符合智能軟件標(biāo)準(zhǔn)。
  • 樣品對(duì)準(zhǔn):用于手動(dòng)傾斜和高度調(diào)整的大信號(hào)檢測(cè)。

技術(shù)參數(shù)

  • 測(cè)量波長(zhǎng):632.8 nm(氦-Ne激光)
  • 樣品臺(tái):兼容 156 × 156 mm
  • 測(cè)角儀:55° - 90° 手動(dòng)控制

 


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