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WASCO壓力開關(guān)UC9

產(chǎn)品介紹

UC9 系列采用 Wasco 專有的制造方法和 Elgiloy 隔膜。它具有高純度和高耐腐蝕性。其全焊接結(jié)構(gòu)消除了所有泄漏途徑。該系列是處理腐蝕性介質(zhì)的選擇,精度高,公差小。我們?cè)O(shè)計(jì)的這些開關(guān)適用于下一代半導(dǎo)體加工設(shè)備中的高腐蝕性環(huán)境。UC9 系列的額定 95B2 應(yīng)用周期超過(guò) 2,000,000 次。UC9 系列可提供符合或超過(guò) SEMI F20 UHP 要求的材料選擇。根據(jù) SEMI F1,所有開關(guān)的氦氣泄漏測(cè)試均達(dá)到 ≤ 1 x 10-9 std cc/sec。

性能特點(diǎn)

適用于下一代半導(dǎo)體加工設(shè)備中的高腐蝕性環(huán)境

額定 95B2 應(yīng)用周期超過(guò) 2,000,000 次

通過(guò)了 SEMI F1 ≤ 1 x10-9 std cc/sec 的氦氣泄漏測(cè)試

選型指南

UC9-A:激活點(diǎn)范圍:壓力abs 20 至 200 Torr

UC9-G:激活點(diǎn)范圍:0.5 至 3.5 PSIG 壓力表壓力

可選功能與配件

典型 UC9,帶 1/4" 外螺紋端面密封和 M8 3 針(可提供其他配置)

可提供更高的額定溫度

可提供其他材料

可提供其他激活范圍

可提供更高壓力

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)地:美國(guó)

激活點(diǎn)范圍:20 至 200 Torr(壓力abs)

復(fù)位帶:10 Torr + 啟動(dòng)點(diǎn)的 6 %(典型值)

激活點(diǎn)公差:+/- 5 Torr +2 %激活點(diǎn)(典型值)

耐壓:100 PSIG

爆破壓力:1000 PSIG Min

工藝接口:316L SS

符合標(biāo)準(zhǔn):SEMI F20 UHP

隔膜:埃爾吉洛伊(Elgiloy)

內(nèi)表面光潔度:5 Ra

工作溫度:-20 至 60 ℃(-4至 140 °F)

非工作溫度:-40至 100 ℃(-40至 212 °F)

預(yù)期壽命:≥ 1,000,000 次 95B2(視應(yīng)用而定)

防護(hù)等級(jí):IP 67(Abs配置)

泄漏率:氦氣泄漏測(cè)試 ≤ 1 x 10-9 std cc/sec

Max額定電流:1 A

交流/直流電壓:115/ 28 V

觸點(diǎn)材料:金

產(chǎn)品尺寸

產(chǎn)品應(yīng)用

氣箱、IGS 配氣盤、配氣系統(tǒng)、閥組箱體、蝕刻和沉積系統(tǒng)


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