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400-888-1375

WASCO開關(guān)UHP160-3

產(chǎn)品介紹

自 1989 年以來,行業(yè)客戶一直信賴 UHP160 系列的可靠性和性能。該系列除采用全焊接結(jié)構(gòu)外,還采用了全不銹鋼傳感器。UHP160 系列采用 Wasco 專有的制造方法,消除了所有泄漏途徑。該系列是處理腐蝕性介質(zhì)的開關(guān),精度高,公差小。我們?yōu)楦呒兌葢?yīng)用(如半導(dǎo)體設(shè)備)設(shè)計(jì)了這些開關(guān)。UHP160 系列不含任何彈性體或 O 形圈。根據(jù) SEMI F1 標(biāo)準(zhǔn),所有開關(guān)的氦氣泄漏測(cè)試均達(dá)到 ≤ 1 x 10-9 std cc/sec。UHP160 系列在 100 級(jí)潔凈室中制造和包裝。

性能特點(diǎn)

適用于半導(dǎo)體設(shè)備等高純度應(yīng)用

不含任何彈性體或 O 形圈

符合 SEMI F1 標(biāo)準(zhǔn)

所有開關(guān)的氦氣泄漏測(cè)試均達(dá)到 ≤ 1 x 10-9 std cc/sec

100 級(jí)潔凈室中制造和包裝

選型指南

UHP160-3 設(shè)定點(diǎn)范圍:1.6 - 25.0 inHg

UHP160-5 設(shè)定點(diǎn)范圍:6.0 - 29.5 inHg

可選功能與配件

可提供其他表面安裝配置

可提供其他端面密封配置

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)地:美國(guó)

Max系統(tǒng)壓力:30.0 inHg

設(shè)定點(diǎn)范圍:1.6 - 25.0 inHg

設(shè)定點(diǎn)公差:± 1.2 inHg  

典型復(fù)位帶:1.0 - 4.6 inHg

潤(rùn)濕元件接頭:316L SS

膜片:17-7PH SS 和 316L SS

使用壽命:≥ 1,000,000 次循環(huán)

防護(hù)等級(jí):IP 67

泄漏率:≤ 1 x 10-9 std cc/sec

工作溫度:-65 至 225 °F;-54 至 107 °C

表面安裝:帶 IGS

端面密封:1/4 " 外螺紋

產(chǎn)品尺寸

產(chǎn)品應(yīng)用

氣箱、臭氧系統(tǒng)、氣體分配系統(tǒng)、半導(dǎo)體設(shè)備


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